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代表著溶膠凝膠法制備多層減反膜的最高水平。由三層折射率漸變的MgF2/SiO2混合膜構成，對1053nm、527nm、351nm三個波長的透射率同時達到99.6%以上，可以有效消除高功率固體激光器窗口元件表面的雜散光。